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[期刊论文] 作者：陈怀溥,王思杰,
来源：西北大学学报(自然科学版) 年份：1988
现在生产中较为广泛使用的硅杯式压力传感器的管芯是如图1所示的桥式电路,四个电阻由平面工艺扩散而成。硅弹性膜片受压变形,电阻阻值发生变化,若电阻设计时有R_1=R_2=R_3=R...
[期刊论文] 作者：陈怀溥,王思杰,曹子祥,
来源：西北大学学报(自然科学版) 年份：1989
本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数αk=-0.08%℃-1等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特...
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