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[期刊论文] 作者:韩培育, 季静佳, 王振交, 李果华,, 来源:太阳能学报 年份:2010
首先使用正交设计法对SiNX和SiO2膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)特性进行了研究,分别得到了两种膜的最佳沉积条件。然后使用PECVD在P型多晶硅片发射极上沉积了SiO2-SiNX...
[期刊论文] 作者:李文佳, 王振交, 韩培育, 储银枝, 施正荣, 李果华,, 来源:太阳能学报 年份:2004
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[期刊论文] 作者:韩培育, 季静佳, 朱凡, 王振交, 钱洪强, 李果华,, 来源:半导体技术 年份:2010
首先使用工业型Direct-PECVD设备,采用SiH4和N2O制备了SiOx薄膜。针对Si太阳电池的应用,比较了SiOx薄膜在不同射频功率、气压、气体流量比和温度下的沉积特性,得出了最佳的沉...
[期刊论文] 作者:吴文娟, 张松, 韩培育, 覃榆森, 季静佳, 顾晓峰, 李, 来源:人工晶体学报 年份:2011
太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长。为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响...
[会议论文] 作者:孟庆蕾;张光春;施正荣;钱洪强;陆红艳;王振交;吴甲奇;韩培育;姜勇飞;陈如龙;杨健;, 来源:第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) 年份:2012
背面局部接触电池可以减少背面复合.本文通过调节背面局部接触电池背场和硅基材之间SIN 钝化层不同的厚度,对电池电性能进行研究.电池IV 参数表明三层氮化硅具有更佳的表面钝...
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