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[期刊论文] 作者：颜彩蘩,王宏杰,
来源：光电子．激光 年份：1999
本文报道应用古代“魔镜”成像原理和现代激光技术发展起来的一种新的光反射“魔镜”检测技术。采用这项技术可以非常直观，方便地观测到直径小于１５０ｍｍ的硅抛光片及硅外延片表面存在......
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