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[期刊论文] 作者:孙延东,颜景岳,张帅,董磊,曹猛,刘梦寅,李德军,
来源:天津师范大学学报:自然科学版 年份:2011
运用离子束辅助沉积法(IBAD)制备了一系列具有不同调制比例的TiAlN/TiB2纳米多层膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、内......
[期刊论文] 作者:龚杰,刘孟寅,王海媛,薛凤英,颜景岳,张帅,王晖,李德军,,
来源:真空科学与技术学报 年份:2011
利用射频磁控溅射技术在不同工作气压和不同基底偏压条件下在Si(100)基底上设计合成了ZrB2/AlN纳米多层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、纳米力学测试系统和表面轮廓仪分...
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