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[期刊论文] 作者:常春荣,李子全,徐芸芸,周衡志,骆心仪,,
来源:电子元件与材料 年份:2006
用超高真空射频磁控溅射技术制备了高c轴取向的ZnO薄膜,并用XRD和SEM研究了溅射和冷却方式对ZnO薄膜结构性能和工艺性能的影响。结果表明:与连续溅射相比,间歇溅射可以降低ZnO(00......
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