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[会议论文] 作者：高晓光;何秀丽;李建平;王利;,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
基于MEMS技术的微型气敏传感器阵列功耗低、体积小,适用于微型电子鼻系统.本文分析了微型气敏传感器阵列的热学行为,并利用有限元方法模拟计算不同电极结构的器件功耗及工作...
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