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[期刊论文] 作者:Yong In Park,Tae Jun Ahn,Sung Ki Kim,Jae Yong Park,Juhn S.Yoo,Chang Yeon Kim,Chang Dong Kim,孙海涛,
来源:现代显示 年份:2003
我们提出并开发了一种先进的6步光掩模工艺,可用于制备有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)中p型沟道多晶硅薄膜晶体管(TFT)面板。通过去除电源线(Vdd)和触排(bank)光处理工艺,将...
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