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[期刊论文] 作者：D.R.Conn,高尚通,,
来源：半导体情报 年份：1983
“中膜”工艺是一种兼有薄膜技术的高分辨率和厚膜技术成本低(因无需真空设备)等优点的工艺。本文就用于3～12GHz频率范围的微波集成电路的中膜微带传输线的性能给以阐述。对特...
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