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[期刊论文] 作者:Der-Chun Wang,朱亚田,,
来源:光电子学技术 年份:1985
本文研究了TGS晶体在丙铜和酒精—水溶液中的溶解度和刻蚀速率(b面)。有了刻蚀知识和光刻技术,制作选择刻蚀结构的热释电探测器是有可能的。它加工处理方便,同时由于能控制较...
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