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[期刊论文] 作者：E.J.Swenson,,
来源：激光与红外 年份：1986
掩模是混合和集成电路制作时最基本过程。通常,掩模加工过程是材料淀积、扩散或腐蚀。由于在制作单个电路和连线时,这样的加工过程要进行几次。制作掩模的标准方法是采用计...
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