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[期刊论文] 作者：WANG Cheng-gang GAN Zhi-yin WA,
来源：国际设备工程与管理：英文版 年份：2008
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[期刊论文] 作者：WANG Cheng-gang,GAN Zhi-yin,WA,
来源：国际设备工程与管理（英文版） 年份：2004
MEMS vacuum packaging is now the impedimeut of the MEMS appliance in some specified fields. The major problem of current packaging approach is that the packagin...
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