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[期刊论文] 作者：Hiroshi Takeda,Yasushi Sato,Yo,
来源：太阳能 年份：2014
图2为采用GFS法沉积出AZO膜的XRD图,其中,Ar流量为3000 sccm,总气体压强为50 Pa,O2流量为10 ～ 50 sccm.沉积在未加热衬底玻璃上的AZO薄膜厚度在500 ～ 600nm范围内;当衬底加热到...
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