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[期刊论文] 作者：ShiyongZHANG,HongleiMA,JinMA,X,
来源：材料科学技术：英文版 年份：2003
Transparent conducting Al-doped zinc oxide (ZnO:Al) films with good adhesion have been deposited on polyimide thin film substrates by r.f. magnetron sputtering...
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