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The Microstructure, Texture and Sputtering Properties of Molybdenum Targets Fabricated by Different
[会议论文] 作者：Hung-Shang Huang,Huan-Chien Tung,Chun-Hao Chiu,In-Ting Hong, 来源：2013年全国粉末冶金学术会议及海峡两岸粉末冶金技术研讨会 年份：2013
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The Microstructure, Texture and Sputtering Properties of Molybdenum Targets Fabricated by Different
[会议论文] 作者：Hung-Shang Huang,Huan-Chien Tung,Chun-Hao Chiu,In-Ting Hong, 来源：2013年全国粉末冶金学术会议及海峡两岸粉末冶金技术研讨会 年份：2013
This study prepared Mo sputtering targets with different microstructures and textures through using several metallurgical processes.The effects of microstructure and texture on the sputtering properti...
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