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[期刊论文] 作者：J.Monkowski,苏涛,,
来源：半导体情报 年份：1977
本文研究了平面源扩散系统的特性与气体流速、气体成分以及系统几何尺寸的关系。业已发现:此系统在低的流速、大的装片密度情况下。片与薄层电阻的均匀性能控制在±2%之内,批...
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