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[期刊论文] 作者：John Ogawa Bodand,
来源：集成电路应用 年份：2007
随着器件尺寸的缩小。离子注入和退火等制程的可变性开始引起器件阈值电压的显著变化。对此。器件制造商有两个选择：要么围绕可变性来设计制程，要么改变制程设备。本文将探讨在......
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