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高功率等离子磁控溅射法制备含钛类金刚石碳膜(英文)
[期刊论文] 作者：SUNG Chia-chi,FUH Yiin-kuen,LO Chih-hung,, 来源：Transactions of Nonferrous Metals Society of China 年份：2012
为了改善类金刚石碳膜的性能,采用高功率等离子磁控溅射法将含钛非晶碳薄膜沉积在304不锈钢基材上,气源为C2H2-Ar混合气体,金属钛为阴极靶材。为了改善附着力和降低残余应力,...
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