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基于微放电加工元件轮廓测量的探针制造(英文)
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为了推动微加工和微机械技术的进步 ,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要 .可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量仪 .这种仪器的探头必须针对某个零件的测...
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