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[期刊论文] 作者:王立世, 张国庆, Marie-Christine Reco, 来源:云南师范大学学报(自然科学版) 年份:2004
近年来,电化学原子层沉积(Electrochemical atomic layer deposition,E-ALD)技术在制备催化、光电及热电等功能薄膜的研究和应用方面取得了较大进展.概述了E-ALD的发展历史、...
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