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[期刊论文] 作者：Michael A.Guerra,李乾树,
来源：微电子学 年份：1991
本文描述了在埋层氧化物上制备超薄Si膜的离子注入技术,并概述了这种优质材料在器件设计中的应用。This article describes ion implantation techniques for the fabricat...
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