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[期刊论文] 作者:Michael Gevelber, Danielle Wil, 来源:电子工业专用设备 年份:2004
提出了在开发一种先进的直拉法晶体生长控制系统中占据重要地位的设备及工艺特征的下位机模型;分析所采集到的实验数据,揭示出控制中的重要问题,由此开发了一种新的控制结构;...
[期刊论文] 作者:Michael Gevelber,Danielle Wilson,董淑梅,闫建文,李勇, 来源:电子工业专用设备 年份:2004
提出了在开发一种先进的直拉法晶体生长控制系统中占据重要地位的设备及工艺特征的下位机模型;分析所采集到的实验数据,揭示出控制中的重要问题,由此开发了一种新的控制结构;...
[期刊论文] 作者:Michael Gevelber,Danielle Wilson,Ning Duanmu,董淑梅,闫建文,李勇,, 来源:电子工业专用设备 年份:2004
提出了在开发一种先进的直拉法晶体生长控制系统中占据重要地位的设备及工艺特征的下位机模型;分析所采集到的实验数据,揭示出控制中的重要问题,由此开发了一种新的控制结构;...
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