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[期刊论文] 作者：R·W·Thomae,吴健昌,
来源：微细加工技术 年份：1990
离子注入是半导体器件制造中一项很重要的工艺,由于微电子工业对具有MeV级能量的离子注入的兴趣日益增长,对高能离子束的要求也日益迫切,此外,在某些应用中,需要有高达10~(1...
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