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[期刊论文] 作者：Rajkumar Jakkaraju,,
来源：电子工业专用设备 年份：2016
在内存器件中,欧姆接触（金属与半导体的接触）连接了有源区和金属布线。为了使最多的电荷快速传输过欧姆接触区,必须使用低电阻材料。为此,低电阻率的硅化钴已成为业内标准材料,......
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