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[期刊论文] 作者：Chris putnam,Jacek K.Tyminski,Robert Batterson,Antonio Gallo,立文,
来源：电子工业专用设备 年份：2001
随着芯片特征尺寸的减小 ,光刻成像技术的不断提高 ,而关键尺寸 (ＣＤｓ)的缩小则产生了更为精确的套刻精度。这些套刻精度在已随着工作台技术和对准系统的改进而得到了满足 ,但这......
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