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[期刊论文] 作者:Robert E.McMahon,朱光世,
来源:科技译报 年份:1972
本测试方法是应用激光扫描,集成电路的各种缺陷可以在电视屏上显示出来;这种非接触式的系统可以代替那些用笨拙的机械探针的测试器。This test method is applied to laser...
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