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[期刊论文] 作者:S. Pargfrieder,, 来源:电子工业专用设备 年份:2007
系统级封装和3D互连的技术可行性及其潜力,近年来在得到了详尽的分析和业界广泛的认可。目前的热点聚集在新颖的制造和集成方案方面,它要求同时满足经济性和技术要求。尽Th...
[期刊论文] 作者:S. Pargfrieder,P. Lindner,S. D, 来源:电子工业专用设备 年份:2007
在半导体生产商不断推进器件和圆片厚度薄型化的形势下,为满足与新产品和加工工艺有关的生产工艺挑战,必须采用更新的分裂方法。新面世的产品射频识别标签,更完善的IC卡以及集成......
[期刊论文] 作者:S. Pargfrieder,P. Lindner,S. D, 来源:电子工业专用设备 年份:2004
在半导体生产商不断推进器件和圆片厚度薄型化的形势下,为满足与新产品和加工工艺有关的生产工艺挑战,必须采用更新的分裂方法.新面世的产品射频识别标签,更完善的IC卡以及集...
[期刊论文] 作者:S. Pargfrieder,P. Lindner,S. Dwyer,T. Matthias,, 来源:电子工业专用设备 年份:2007
在半导体生产商不断推进器件和圆片厚度薄型化的形势下,为满足与新产品和加工工艺有关的生产工艺挑战,必须采用更新的分裂方法。新面世的产品射频识别标签,更完善的IC卡以及...
[期刊论文] 作者:S. Pargfrieder,高仰月, 来源:电子工业专用设备 年份:2005
介绍了喷雾式涂胶(SprayCoating)的多种新应用。在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的。实践证...
[期刊论文] 作者:S. Pargfrieder,高仰月,葛劢冲,, 来源:电子工业专用设备 年份:2005
介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的.实践证明...
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