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[期刊论文] 作者：Song Wu Bo Tao Yong-ping Shen,
来源：化学物理学报 年份：2006
一个万用的金属器官的化学蒸汽免职(MOCVD ) 系统被设计并且构造。铜电影在硅(100 ) 上被扔由用 Cu (hfac )2 的化学蒸汽免职(CVD ) 的底层作为一位先锋。由 Cu (...
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