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[期刊论文] 作者：W.G.Sainty,王尚铎,,
来源：激光与红外 年份：1986
实验淀积膜所用设备的结构图示于图1。由扩散泵浦真空系统产生的基本压力为10~(-4)Pa。用电子束蒸发器淀积薄膜。25mm直径BK7抛光玻璃试验衬底装在蒸发料源上方420mm处,可用...
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