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[期刊论文] 作者：Werner Kern,刘英清,
来源：微电子学 年份：1987
常压化学汽相淀积(APCVD)硼/磷硅玻璃膜(BPSG)已经确定了最佳条件,能更有效地利用反应剂,得到颗粒杂质比以前少得多的玻璃膜。这些改善,是通过降低淀积温度和提高氧/氢化物(...
[期刊论文] 作者：Werner Kern,杨功铬,
来源：微电子学 年份：1987
本文第一部份综述有关文献并评价各类二氧化硅和磷硅玻璃湿法化学腐蚀的化学原理、腐蚀机理和腐蚀工艺;第二部分讨论因腐蚀而引起的诱生缺陷。业已证实,玻璃膜复盖层经湿法化...
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