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Experimental Characterization of Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma with Inductive Enhanceme
[期刊论文] 作者:BAI Yang,JIN Chenggang,YU Tao,WU Xuemei,ZHUGE Lanjian,NING Zhaoyuan,YE Chao,
来源:黑龙江科技信息 年份:2013
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