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Experimental Characterization of Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma with Inductive Enhanceme
Experimental Characterization of Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma with Inductive Enhanceme
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guomeixiang
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
BAI Yang
JIN Chenggang
YU Tao
WU Xuemei
ZHUGE Lanjian
NING Zhaoyuan
YE Chao
【机 构】
:
School of Physics Science and Technology, Soochow University, Suzhou 215006, China“,”Analysis and Te
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2013年10期
【关键词】
:
one-turn bare coil
inductively coupled plasma
dual-frequency capacitively couple
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本文通过对荣华二采区10<
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