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[学位论文] 作者：Zobov Vladislav,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2020
由Norikazu SUZUKI,Zhenmin YAN,Rei HINO等人发明的超声波椭圆振动切削技术,应用于目前研究中的单晶锗超精密加工。锗是用于红外光学器件的优异材料,而由于其脆性,锗的超精密微加工是困难的。在单晶锗衬底的(101),(110)和(011)表面上进行微切槽实验,并且如下阐......
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