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纳米金刚石在不同沉积条件下的生长研究
用CH4和H2为反应气体,在热丝化学气相沉积系统中用不同的沉积条件直接在Si衬底上制备了纳米金刚石,并用高分辨扫描电子显微镜和显......
期刊
化学气相沉积
纳米金刚石
辉光放电
<Keyword>chemical vapor deposition
nano-diamond
glowdisc
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