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β-Si3N4涂层相关论文
β-Si3N4涂层的制备及高效多晶硅性能研究
目前以α-Si3N4为主晶相的氮化硅涂层在半熔高效多晶硅铸造工艺中被广泛的应用,但其缺点是结构疏松及易脱落,造成渗硅和粘锅风险。......
学位
β-Si3N4涂层
晶粒细化
制备方法
抗脱落性
全熔工艺
多晶硅性能
β-Si3N4涂层抗脱落性及对高效多晶硅性能的影响
采用喷涂法分别制备以α-Si3N4粉和β-Si3N4粉为原料的坩埚内壁用氮化硅涂层,进行烧结和多晶硅铸锭,利用扫描电子显微镜分析铸锭前......
期刊
β-Si3N4涂层
相转变
少子寿命
边缘红区
抗脱落性能
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