【摘 要】
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采用喷涂法分别制备以α-Si3N4粉和β-Si3N4粉为原料的坩埚内壁用氮化硅涂层,进行烧结和多晶硅铸锭,利用扫描电子显微镜分析铸锭前后涂层形貌、X射线衍射分析仪分析铸锭前后
【机 构】
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河南科技大学材料科学与工程学院; 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;
【基金项目】
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2014年河南省科技发展计划(142102210428)
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采用喷涂法分别制备以α-Si3N4粉和β-Si3N4粉为原料的坩埚内壁用氮化硅涂层,进行烧结和多晶硅铸锭,利用扫描电子显微镜分析铸锭前后涂层形貌、X射线衍射分析仪分析铸锭前后涂层物相、少子寿命测试仪检测硅锭少子寿命以及红区长度等。结果表明:与α-Si3N4涂层相比,β-Si3N4涂层铸锭后高温稳定性强,与石英坩埚结合牢固,几乎无脱落现象。铸锭后α-Si3N4涂层颗粒呈类球形、竖直堆垛于坩埚表面,而β-Si3N4涂层颗粒呈六方短柱体、平行叠加于坩埚表面,恰好垂直于杂质扩散方向,故更有利于阻挡杂质的扩散。在不显著影响少子寿命的基础上,β-Si3N4涂层坩埚铸成的硅锭边缘红区更短、成品率更高。
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