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δ-Nb-Ti-N薄膜相关论文
δ-Nb-Ti-N超导薄膜溶液法制备与超导性能研究
采用化学溶液沉积法在Si衬底上生长立方结构的δ-Nb-Ti-N薄膜和δ-NbN薄膜,系统研究了掺杂前后薄膜颗粒度/晶粒度、微应力、N含量......
期刊
δ-Nb-Ti-N薄膜
化学溶液沉积法
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δ-Nb-Ti-N thin filmschemical solution dep
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