三维微细加工相关论文
DEM技术是由上海交通大学开发出来的一种全新的三维微细加工技术.本文旨在研究DEM技术中利用反应离子刻蚀(RIE)深层刻蚀塑料PMMA的......
双光子微细加工系统的分辨能力直接影响三维器件成型的精度和质量.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨力的理论分析,提出等光强......
飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光，CAD/CAM，光化学材料等技术于一体的新型加工方法，他采用单点扫描累积成型，由点成线，由线成面进......
飞秒激光双光子微细加工是利用强聚焦飞秒激光诱导材料发生显著的双光子激发,进而实现复杂三维结构的微纳米加工.作为一种新兴微细......
随着MEMS技术在更多的领域中需要应对更多的需求，如生物领域的可靠性、兼容性;恶劣环境中的抗辐射、抗高温高压、抗冲击等等，新兴的......
约束刻蚀剂层技术(Confinfed Etchant Layer Technique简称CELT)是一种具有距离敏感性及控制保留量等特点的新的微细加工方法,......
<正> 随着微细加工技术的发展,可制作直径为几千微米的齿轮之类的结构部件或者将其组合成亚毫米尺寸的执行元件以及传感器,并且正......
为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论......
飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD／CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法，它采用单点扫描累积成型，由点成线，由线成面......
利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存......
双光子吸收几率与光强度的平方成正比,因此,双光子吸收引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,通过控制焦点的扫描运动可实现高精......
飞秒激光具备独特的超强与超快特性,其超强特性使我们能以较低的脉冲能量获得极高的峰值光强,诱发的双光子吸收区局限在焦点核心很......
飞秒激光诱导的双光子激发三维微细加工在三维高密度信息存储技术、具有纳米级分辨能力的飞秒近场加工、金属表面浮雕结构的制作等......
微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发......
三维微细加工技术的发展对于微机械的开发和生产具有非常重要的意义。本文介绍了三类得到普遍应用的三维微细加工技术,阐述了各技......
