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聚焦离子束三维纳米螺旋加工技术及纳米螺旋机电特性研究
本论文开展了基于聚焦离子束(Focusedionbeam,FIB)的三维纳米螺旋加工技术及纳米螺旋机电特性的研究。由于极小的质量、极高的谐振......
学位
聚焦离子束
纳米螺旋
纳米电感
纳米加工
三维电感
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