聚焦离子束相关论文
使用聚焦离子束制备含有贯通纳米孔的石英玻璃平面TEM试样时，会出现试样硬度高、导电性差、试样片厚度过大等问题。改变试样U型切割......
由于聚焦离子束（Focused Ion Beam,简称FIB）显微镜的最新运用,材料科学得以迅速发展。钢铁行业中,聚焦离子束技术不仅可以不断将涂料......
电极材料作为锂离子电池的关键结构组成部分，其结构稳定性直接决定着锂离子电池的电化学性能。由于电极材料具有对空气、水分敏感，不......
BCC/B2高熵合金中体心立方结构（body centered cube, BCC）纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能。然而，扫描电子显微镜-能量色散谱仪......
在聚焦离子束溅射刻蚀工艺中,灰度图常常被用来加工三维曲面微结构,通过定义每个像素点的灰度值控制离子入射点的驻留时间。灰度值......
贵金属超细丝材常用于精密电子功能器件的关键位置,但由于其加工成品尺寸微细传统技术无法准确表征超细丝材的微观精细结构.采用聚......
量子材料是近年来凝聚态物理学中对具有层展现象的各类材料的一个总体描述,包括超导体,自旋液体,重费米子,拓扑绝缘体,拓扑半金属......
微机电系统（MEMS）技术在展现出巨大潜在应用前景的同时也给人们提出了一系列的挑战。首先,由于微纳尺度材料极小的物理尺寸,传统的制......
本文在对纳米结构与纳米器件特种加工技术一电子束光刻(E-Beam)和聚焦离子束(FIB)研究的基础上，实现了多种纳米结构与纳米器件的加......
应用聚焦离子束技术(FIB)制备合金化热镀锌钢板透射电子显微镜截面样品,再应用透射电子显微镜(TEM)观察截面样品的镀层和基体中存......
聚焦离子束(focused ion beam，简写FIB)是一个微纳加工和观察分析设备。在强电场下金属离子溢出液态离子源，形成束流，经光圈限束、加......
利用纳米孔研究DNA生物大分子是一个非常活跃的研究领域.由于聚焦离子束在微纳加工方面的独特优势,可以被用来加工这种纳米孔.为了......
本文介绍了微细聚焦离子束设备的系统概况,系统通过采用双透镜并行工作模式,双频激光测距工件台,离子束扫描成像等技术,使系统满足......
聚焦离子束技术常被用于集成电路的修整与失效分析,通过切断某些金属连线和诱导沉积新的金属连线来测试所设计电路的特性.在低维材......
20世纪80年代出现的聚焦离子束-扫描电镜双束系统，它集成了离子束刻蚀和扫描电镜成像的优点，可以实现微纳米尺度上的样品定点加工与......
本研究对阿波罗巧号返回的月壤样品进行了细致研究，用场发射扫描电镜对一些颗粒进行了微观特征观察，发现大多数颗粒表面都有很多的附......
地外样品具有珍贵量少的特点，往往要求在尽可能少的样品消耗的前提下，获取尽可能多的研究结果。双束系统功能完备，不仅能够对同一样品......
利用聚焦离子束技术加工微结构时,由于溅射过程的再沉积效应,难以获得较为陡直的侧壁,对于高深宽比微结构尤甚.为优化聚焦离子束的......
针对聚焦离子束在绝缘材料表面直写微纳图形时因电荷积聚原因导致加工效果差的情况,将单晶硅湿法各向异性腐蚀工艺应用于单晶硅片......
为探明晶粒组织对7B04铝合金超塑性变形的力学行为及变形机理的影响,首先利用2种7B04铝合金板材进行三维金相组织分析,得到其微观......
MEMS惯性传感器是一种将运动物理量转换成电信号的传感器,其工作原理涉及物理学、机械学、微电子学科等。随着MEMS芯片尺寸的不断......
利用X射线光电子能谱(XPS)和聚焦离子束(FIB)技术,实现对FeCrAl合金涂层在1200℃水蒸气环境下氧化行为的研究.XPS和FIB法可以检测......
作者以碳纳米管在硅基芯片上的集成作为研究对象，分析如何用FIB制备碳纳米管复合材料的截面样品。作者通过透射电镜的分析(EFTEM等)......
近年来人们将纳米压痕仪改进成压缩实验仪器,通过聚焦离子束(FIB)技术制备出微米尺度甚至纳米尺度小柱样品进行实验,研究材料的尺......
本研究以具有奈米级孔洞的阳极处理氧化铝爲模板,并通入乙醇爲碳源,於550度下裂解後成功得到形状均一的碳奈米带材料.该材料平均长......
本文将EBSD(electron back-scattering diffraction)与FIB两项技术连用，克服了菊池线标定的不唯一性，成功地制备了Bi2Te3(110)截......
有集中的离子横梁(小谎) 的 micro/nano-scale 点缀模式的制造技术系统为数字图象关联(DIC ) 被学习在一台扫描电子显微镜(SEM ) ......
In this paper,a new method combining focused ion beam(FIB)and scanning electron microscope(SEM)Moirétechnique for t......
在这个工作，扫描电子显微镜学(SEM ) 的一根集中的离子横梁(小谎) 双横梁系统被集成小谎柱和一个图形发电机到 SEM 上成功地造。实......
页岩气在全球能源投资中扮演着日益重要的角色,对其预期促使人们加强对页岩气下伏基底气体采收机制的研究。本研究就是利用页岩储......
由于晶体的对称性,体心立方金属的螺位错和刃位错的晶格摩擦力存在很大差异,这使体心立方金属的力学行为与面心立方金属存在差异。......
尽管石墨烯具有非凡的特性,但并不完美。然而,它是一个非常好的样品,可以基于它改造出具有新特性的完美材料。据物理学家组织网近......
纳米孔是目前单分子测序的一项重要技术。作者以氮化硅绝缘材料为基底,采用微加工技术设计和制备了自支撑氮化硅悬空膜结构,然后利......
光子晶体是一种介质常数周期性变化的人工介质材料,具有光子带隙和光子局域两个主要特征。光子晶体光波导是利用光子带隙特性传输......
本文中总结了热重分析仪(TGA)、动态力学分析仪(DMA)、红外(FTIR)及拉曼(Raman)光谱、核磁共振波谱仪(NMR)、偏光显微镜(PLM)、扫......
采用聚焦离子束注入和反应离子刻蚀ＳｉＯ＿２的干法光刻ＤｒｙｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｕｓｉｎｇｆｏｃｕｓｅｄｉｏｎｂｅａｍｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄｒｅａｃｔｉｖｅｉｏｎｅｔｃｈｉｎｇｏｆＳｉＯ＿２［刊，英］／Ｃｈｏｑｕｅｔｔｅ，Ｋ．Ｄ．… ∥Ａｐｐ...
Dry lithography using focused ion beam implantation and reactiv......
本文介绍了一种实用的液态合金离子源结构，我们利用本结构研制成功了Ａｕ－Ｓｉ和Ａｕ－Ｓｉ－Ｂｅ液态合金离子源，测出了它们的发射特性。
In this paper, a p......
本文介绍了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的结构以及源的发射特性，利用Ｅ×Ｂ质量分析器，获得了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的质谱图，对实验误差进行了理论分析
In this paper, the structure of ......
加州新波研究公司制造的小型闪光灯泵Nd：YAG激光器增进了对半导体损伤的分析和液晶显示器的修复。1996年初推出QukLaze装置也是电阻......
一、概述离子注入技术作为半导体集成电路制作工艺中的新型掺杂技术，具有均匀性好、重复往高、分布随意、掺杂精度准确等优点，已被广......
研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及......
本文详细介绍了新一代用于聚焦离子束的图形产生和自动套准系统。该系统设计的基点是充分考虑计算机运算速度极大的提高，使得原来必......
用ＭＢＥ和原位离子束光刻技术制备的２ＤＥＧ基区热电子晶体管据《ＩＥＥＥＥ．Ｄ．》４２卷第６期报道，Ｓ．Ｇ．Ｉｎｇｒａｍ等以ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ系统材料，将原位聚焦离子束（ＦＩＢ）隔离技术与ＭＢＥ再生长工艺相结合，克服了......
为了进行Ｓｉ聚焦离子束微细加工技术的研究，研制了ＡｕＳｉ液态金属离子源制备设备及其分析设备，制成了实用化的ＡｕＳｉ合金源，得到了制备该合金源的成熟......
