光学相干层析成像（Optical Coherence Tomography,OCT）技术是一种生物医学断层成像技术,其轴向分辨率可以达到几微米,具有非接触、无......

介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-......

表面形貌的测量分析评定对于保证产品质量具有非常重要的意义。近年来,随着超精密加工,微电子机械系统和集成电路的高速发展,市面......

为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量，在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置，设计......