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介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-2．0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析，说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求。
WIVS三维表面形貌测量仪
【摘 要】
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介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-2．0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2006年12期
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