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不等电位空心阴极效应相关论文
不等电位空心阴极效应法合成C-BN薄膜的研究
该文介绍一种新的合成C-BN的方法--不等电位空心阴极效应法(简称双阴极法),同时还介绍了不等电位空心阴极的放电特性及机理,合成C-BN的装置原理以......
会议
不等电位空心阴极效应
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装置原理
试验结果
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阴极法
机理
方法
双阴极辉光放电合成功能薄膜的研究
介绍了一种新的等离子化学气相合成功能薄膜的方法—不等电位空心阴极效应法(简称双阴极辉光放电法)及其基本原理。采用此法在Si、Mo、Ti等......
会议
不等电位空心阴极效应
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立方氮化硼薄膜
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功能薄膜
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方法
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