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双阴极辉光放电合成功能薄膜的研究
双阴极辉光放电合成功能薄膜的研究
来源 :第七次全国热处理大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ncla02
【摘 要】
:
介绍了一种新的等离子化学气相合成功能薄膜的方法—不等电位空心阴极效应法(简称双阴极辉光放电法)及其基本原理。采用此法在Si、Mo、Ti等基片上合成了金刚石薄膜的立方氮化硼薄膜。
【作 者】
:
田林海
贺琦
潘俊德
赵晋香
范本惠
【机 构】
:
理工大学表面工程研究所
【出 处】
:
第七次全国热处理大会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
不等电位空心阴极效应
放电合成
双阴极辉光放电法
立方氮化硼薄膜
金刚石薄膜
气相合成
离子化学
功能薄膜
原理
基片
方法
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介绍了一种新的等离子化学气相合成功能薄膜的方法—不等电位空心阴极效应法(简称双阴极辉光放电法)及其基本原理。采用此法在Si、Mo、Ti等基片上合成了金刚石薄膜的立方氮化硼薄膜。
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