双阴极辉光放电合成功能薄膜的研究

来源 :第七次全国热处理大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ncla02
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介绍了一种新的等离子化学气相合成功能薄膜的方法—不等电位空心阴极效应法(简称双阴极辉光放电法)及其基本原理。采用此法在Si、Mo、Ti等基片上合成了金刚石薄膜的立方氮化硼薄膜。
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