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二次碰撞效应相关论文
FIB刻蚀对电化学制备多孔硅的影响
通过聚焦离子束(focused ion beam,FIB)轰击处理制备得到一种新的微纳级多孔硅结构,并通过实验实现可控化.在图形化过程中,FIB轰击处......
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多孔硅
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二次碰撞效应
porous silicon (PSi)
focused ion beam (FIB)
shielding ar
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