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交替偏压相关论文
交替偏压工艺及Zr/Ni合金化对CrN薄膜结构与性能的影响
作为典型的硬质薄膜材料,金属氮化物陶瓷薄膜因具有高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性以及绚丽的色彩而广泛应用于切削和成型工具......
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合金化
交替偏压
孔隙率
氮流量比
硬质薄膜
金属氮化物
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