本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压结构的介观压光型微机械加速度计的设计和研究。该传感器较传统的硅微机械压阻式加速度计......

通过对扩散反应方程的求解和无量纲分析给出了响应时间和恢复时间随膜厚、气体 浓度变化的关系式．由于气敏晶体尺寸r0→0时不能满......

通过对扩散反应方程的求解和无量纲分析出了响应时间和恢复时间随膜厚、气体变化的关系式，由于气敏晶体尺寸ｒ０→０时不能满足热力学极限......

理论研究表明：存在最佳晶粒尺寸是一种新的介观效应，它来自当晶粒尺寸缩小到一定程度时反映吸附氧负离子的Fermi统计失效；根据当晶粒......

给出了动态厚度效应特征时间的公式,灵敏度Sn与膜厚l的关系和存在最佳膜厚的特征,电导激活能随膜厚变化的特征.提出了发展气敏机理......

纳米金属氧化物气敏薄膜存在灵敏度的最佳膜厚l°和最佳晶粒尺寸ro°，其值与材料和工艺有关。最佳晶粒尺寸的存在是一种新......

铁磁金属多层膜（８１ＮｉＦｅ／Ｃｒ）面上刻蚀平行线凹槽（５００线／ｍｍ）以及多孔超薄多层膜（Ｃｏ／Ｃｕ），在Ｔ＜４．２Ｋ时，磁电阻特性反常。可解释为介观效应。......