传统炉退火相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

传统炉退火相关论文

玻璃衬底上中温制备多晶硅薄膜的量子态现象

用PECVD法直接沉积的非晶硅（a-Si：H）薄膜用传统炉在中温退火，然后用拉曼光谱、XRD和SEM分析，发现晶粒大小随退火温度和退火时间呈现量子......

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PECVD法非晶硅薄膜传统炉退火量子态晶粒大小 PECVD a-Si ： H film conventional furnace annealing

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