低K绝缘层相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

低K绝缘层相关论文

低k绝缘层及其设备

铜互连、金属间低k绝缘层(k＜3)和CMP工艺已成为制造高端IC的一个标准工艺.本文介绍了厚度已步入纳米尺度的低k绝缘层的最新研究动态......

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低k绝缘层低k CMP 铜互连设备 low-k insulating layerlow-k CMPCu interconnectionequipment

铜互连及其相关工艺

介绍了铜互连、金属间低K绝缘层和CMP工艺.ITRS2001/1999对铜互连、金属间低K绝缘层和CMP工艺提出了具体的要求和进程.ITRS2001比I......

期刊

铜互连低K绝缘层化学机械抛光

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