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本文报道了利用卤钨灯的光量子效应和快速升温特点,在低温下晶化非晶硅薄膜的研究结果.分析了初始膜中的微晶成分在晶化过程中的作......
该论文主要内容是关于低温晶化非晶硅薄膜的实验研究.该领域的工作是目前半导体界的热点之一,各种技术路线尚处于研究阶段.论文中......
为改进多晶硅薄膜制造工艺,研究了非晶硅薄膜的快速光热退火技术。先利用PECVD设备沉积非晶硅薄膜,然后放入快速光热退火炉中进行......
本论述研究了非晶硅薄膜的快速光热退火技术,先利用PECVD法设备沉积非晶硅薄膜,然后放入快速光热退火炉中进行退火。退火前后的薄......
