准平面电路模型相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

准平面电路模型相关论文

VHF—PECVD系统能量馈入模式对薄膜均匀性的影响

为了解决甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF—PECVD）制备薄膜的非均匀性问题，采用准平面电路模型计算，给出了平板电极间电势的非均匀......

期刊

电磁场与电磁波材料成型及控制薄膜技术准平面电路模型 electromagnetic field and electromagnetic wave mate

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